由于臭氧對(duì)物體表面的微生物有很好的殺滅作用，臭氧發(fā)生器也被廣泛使用，如餐具、玩具、器皿、醫(yī)療器械等。

目前市場(chǎng)上的臭氧消毒柜，臭氧可以彌漫在器具周?chē)M(jìn)行消毒，功耗少，消毒效果顯著，彌補(bǔ)了高溫高壓蒸汽、紅外和紫外消毒柜的不足。

在無(wú)菌室、潔凈室、醫(yī)院工作服的消毒處理方面，一般采用高溫高壓蒸汽滅菌。消毒后，棉衣材料會(huì)由白變黃，多次消毒后，衣服纖維會(huì)變脆脫落，直接影響衣服的使用壽命和無(wú)菌室、潔凈室的清潔度；目前的絲綢工作服不宜用高溫高壓蒸汽滅菌。

據(jù)了解，使用臭氧發(fā)生器對(duì)上述物品進(jìn)行消毒，可有效降低對(duì)服裝材料的損壞程度，無(wú)殘留、痕跡和異味，高溫高壓蒸汽滅菌的消毒效果相同或略好。在試驗(yàn)中，無(wú)菌工作服的人為污染菌群，總殺滅率≥98%。