在大多數(shù)臭氧水處理應(yīng)用中，為了達(dá)到或超過消毒或氧化的殘留目標(biāo)，需要監(jiān)測(cè)水中或廢氣中臭氧殘留的濃度，并增加或減少臭氧發(fā)生器的輸出。

在一些臭氧水處理應(yīng)用中，該方法要求處理過的水中的臭氧殘留量保持在一定限度以下。 雖然臭氧在水處理的典型條件下在水中的半衰期很短，但可以持續(xù)1-2小時(shí)，如果需要考慮下游腐蝕或工藝污染，則需要采取措施減少或消除臭氧殘留。

分解水中的臭氧有三種基本方法：紫外線輻射、化學(xué)品和活性炭。

紫外線（UV） 

紫外線系統(tǒng)對(duì)工藝用水中的臭氧破壞非常有效。 由于在大多數(shù)高純水處理過程中不需要化學(xué)品或加熱，因此在簡單的流動(dòng)物理過程中，紫外線是臭氧分解的首選方法。 這是不需要添加化學(xué)品或其他材料的首選方法，例如在食品、飲料、制藥或半導(dǎo)體行業(yè)。

化學(xué)品 

某些化學(xué)品也可以添加到水中以去除殘留的臭氧。 這些化學(xué)品包括過氧化氫、亞硫酸氫鈉和硫代硫酸鈣。 這些化學(xué)添加劑可用于超純水系統(tǒng)應(yīng)用之外。 與飲用水處理一樣，與亞硫酸鹽或硫代硫酸鹽的反應(yīng)會(huì)在幾秒鐘內(nèi)發(fā)生。 亞硫酸鹽的劑量率約為 2.2 克亞硫酸鈉/克臭氧。 硫代硫酸鈉的比例為2.1克硫代硫酸鈉/克臭氧。 與任何化學(xué)品一樣，您需要提前閱讀材料數(shù)據(jù)安全表，以防止其他化學(xué)反應(yīng)。 但是亞硫酸鹽會(huì)產(chǎn)生二氧化硫煙霧，這一點(diǎn)很重要，需要注意。

活性炭

對(duì)于少量的臭氧，活性炭是去除水中殘留物的有效方法，碳能催化殘留臭氧的分解。

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