臭氧處理廢氣是一種利用臭氧氣體氧化廢氣中有害物質(zhì)的技術(shù)。其原理是將臭氧氣體引入廢氣處理裝置中，與廢氣中的有機(jī)物、硫化物、氮氧化物等有害物質(zhì)進(jìn)行氧化反應(yīng)，使其分解成無害的水、二氧化碳等物質(zhì)。臭氧氧化反應(yīng)的化學(xué)方程式如下：

有機(jī)物 + O3 → CO2 + H2O + O2

SO2 + O3 → SO3

NO + O3 → NO2

NO2 + O3 → O2 + NO3

臭氧氧化反應(yīng)中，臭氧分子（O3）與廢氣中的有害物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)后，會(huì)分解成氧氣（O2）和一個(gè)高活性的自由基，自由基會(huì)不斷引發(fā)鏈?zhǔn)椒磻?yīng)，加速有害物質(zhì)的氧化分解。這種方法能夠高效地將廢氣中的有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì)，同時(shí)不會(huì)產(chǎn)生二次污染，因此廣泛應(yīng)用于工業(yè)廢氣處理、空氣凈化等領(lǐng)域。